中国化工贸易
中國化工貿易
중국화공무역
CHINA CHEMICAL TRADE
2013年
3期
290
,共1页
黄杰%谭宗国%史建华%赵生艳
黃傑%譚宗國%史建華%趙生豔
황걸%담종국%사건화%조생염
三氯氢硅合成%多晶硅%硅粉%湿法除尘%优化
三氯氫硅閤成%多晶硅%硅粉%濕法除塵%優化
삼록경규합성%다정규%규분%습법제진%우화
本文主要介绍了湿法除尘的原理及效果、三氯氢硅合成工艺中湿法除尘的除尘效果.并结合实际运行情况介绍三氯氢硅合成工艺中的湿法除尘的运行情况;探讨并分析湿法除尘在三氯氢硅合成中存在的缺陷及问题;提出改进三氯氢硅合成工艺中湿法除尘的一些意见和措施.
本文主要介紹瞭濕法除塵的原理及效果、三氯氫硅閤成工藝中濕法除塵的除塵效果.併結閤實際運行情況介紹三氯氫硅閤成工藝中的濕法除塵的運行情況;探討併分析濕法除塵在三氯氫硅閤成中存在的缺陷及問題;提齣改進三氯氫硅閤成工藝中濕法除塵的一些意見和措施.
본문주요개소료습법제진적원리급효과、삼록경규합성공예중습법제진적제진효과.병결합실제운행정황개소삼록경규합성공예중적습법제진적운행정황;탐토병분석습법제진재삼록경규합성중존재적결함급문제;제출개진삼록경규합성공예중습법제진적일사의견화조시.