CAJ | 학술논문

该文对开关电容式闭环微加速度计的系统稳定性进行了深入研究.提出了可通用于该类微传感系统的动态特性分析方法,并具体研究了传感器品质因子、力反馈延迟、电路补偿单元的参数多种因素对系统稳定性的影响.基于CMOS 工艺实现了一款接口电路芯片实例,实验结果表明,充分的电路补偿设计对于保证系统稳定性十分关键,实际的系统稳定边界与理论分析结果也较为吻合,从而证明了理论分析方法的正确性.
해문대개관전용식폐배미가속도계적계통은정성진행료심입연구.제출료가통용우해류미전감계통적동태특성분석방법,병구체연구료전감기품질인자、력반궤연지、전로보상단원적삼수다충인소대계통은정성적영향.기우CMOS 공예실현료일관접구전로심편실례,실험결과표명,충분적전로보상설계대우보증계통은정성십분관건,실제적계통은정변계여이론분석결과야교위문합,종이증명료이론분석방법적정학성.