CAJ | 학술논문

利用磁控溅射法,采用亚分子分层掺杂技术交替溅射Co靶和ZnO靶,在Si衬底上制备了不同氢氩流量比的H∶ZCO薄膜样品,研究了氢氩流量比对薄膜结构特性和磁学性能的影响.所制备的薄膜样品具有c轴择优取向.由于H对表面和界面处悬挂键的钝化作用,随H2流量比的增加,薄膜的择优取向变差.磁性测量结果显示,薄膜样品的铁磁性随着氢氩流量比的增大而增强.XPS结果表明,随着H含量的增大,金属态Co团簇的相对含量逐渐增加,而氧化态Co离子的相对含量逐渐减小.H∶ZCO样品中的铁磁性可能来源于Co金属团簇,H的掺入促使ZnO中的Co离子还原成Co金属团簇,从而增强了薄膜样品的室温铁磁性
이용자공천사법,채용아분자분층참잡기술교체천사Co파화ZnO파,재Si츤저상제비료불동경아류량비적H∶ZCO박막양품,연구료경아류량비대박막결구특성화자학성능적영향.소제비적박막양품구유c축택우취향.유우H대표면화계면처현괘건적둔화작용,수H2류량비적증가,박막적택우취향변차.자성측량결과현시,박막양품적철자성수착경아류량비적증대이증강.XPS결과표명,수착H함량적증대,금속태Co단족적상대함량축점증가,이양화태Co리자적상대함량축점감소.H∶ZCO양품중적철자성가능래원우Co금속단족,H적참입촉사ZnO중적Co리자환원성Co금속단족,종이증강료박막양품적실온철자성