发光学报
髮光學報
발광학보
CHINESE JOURNAL OF LUMINESCENCE
2012年
4期
449-452
,共4页
朱振邦%顾书林%朱顺明%叶建东%黄时敏%顾然%郑有炓
硃振邦%顧書林%硃順明%葉建東%黃時敏%顧然%鄭有炓
주진방%고서림%주순명%협건동%황시민%고연%정유료
ZnO / ZnMgO %异质结场效应管%迁移率
ZnO / ZnMgO %異質結場效應管%遷移率
ZnO / ZnMgO %이질결장효응관%천이솔
利用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术,在ZnO/ZnMgO异质结构上制备SiO2作为栅绝缘层,采用光刻与腐蚀工艺制备ZnO/ZnMgO异质结场效应管.电学性能测试及计算结果表明器件栅压调控作用明显.发现栅端漏电流对器件性能造成一定影响.在低温条件下,栅绝缘层产生钝化,从而能够改善器件的性能
利用等離子體增彊化學氣相沉積(PECVD)技術,在ZnO/ZnMgO異質結構上製備SiO2作為柵絕緣層,採用光刻與腐蝕工藝製備ZnO/ZnMgO異質結場效應管.電學性能測試及計算結果錶明器件柵壓調控作用明顯.髮現柵耑漏電流對器件性能造成一定影響.在低溫條件下,柵絕緣層產生鈍化,從而能夠改善器件的性能
이용등리자체증강화학기상침적(PECVD)기술,재ZnO/ZnMgO이질결구상제비SiO2작위책절연층,채용광각여부식공예제비ZnO/ZnMgO이질결장효응관.전학성능측시급계산결과표명기건책압조공작용명현.발현책단루전류대기건성능조성일정영향.재저온조건하,책절연층산생둔화,종이능구개선기건적성능
