光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2012年
9期
113-118
,共6页
郝向南%李化%聂劲松%卞进田%雷鹏
郝嚮南%李化%聶勁鬆%卞進田%雷鵬
학향남%리화%섭경송%변진전%뢰붕
连续激光%高重频激光%可见光CCD%损伤机理
連續激光%高重頻激光%可見光CCD%損傷機理
련속격광%고중빈격광%가견광CCD%손상궤리
分别用连续激光、40 kHz 和5 kHz 重频激光对可见光 CCD 进行损伤实验,发现了相似的损伤现象,即点损伤、线状损伤和完全损伤,并分别测量了各个损伤状态下的驱动电极与衬底间的阻抗变化;分别对三组实验中损伤的 CCD 芯片进行电镜扫描,微观分析各个损伤位置处的损伤形貌,详细解释了出现三种损伤现象的原因,并比较了三种工作状态激光的不同作用机理.得到的结论是:点损伤现象与 CCD 表层的损伤有关,线损伤现象与漏光和电极间短路有关、完全损伤现象与绝缘层的损伤有关;连续激光作用的过程以热熔融为主、40 kHz 重频激光作用的过程以汽化烧蚀为主、5 kHz 重频激光作用的过程包括汽化烧蚀、强汽化“冲刷”以及反冲压力.
分彆用連續激光、40 kHz 和5 kHz 重頻激光對可見光 CCD 進行損傷實驗,髮現瞭相似的損傷現象,即點損傷、線狀損傷和完全損傷,併分彆測量瞭各箇損傷狀態下的驅動電極與襯底間的阻抗變化;分彆對三組實驗中損傷的 CCD 芯片進行電鏡掃描,微觀分析各箇損傷位置處的損傷形貌,詳細解釋瞭齣現三種損傷現象的原因,併比較瞭三種工作狀態激光的不同作用機理.得到的結論是:點損傷現象與 CCD 錶層的損傷有關,線損傷現象與漏光和電極間短路有關、完全損傷現象與絕緣層的損傷有關;連續激光作用的過程以熱鎔融為主、40 kHz 重頻激光作用的過程以汽化燒蝕為主、5 kHz 重頻激光作用的過程包括汽化燒蝕、彊汽化“遲刷”以及反遲壓力.
분별용련속격광、40 kHz 화5 kHz 중빈격광대가견광 CCD 진행손상실험,발현료상사적손상현상,즉점손상、선상손상화완전손상,병분별측량료각개손상상태하적구동전겁여츤저간적조항변화;분별대삼조실험중손상적 CCD 심편진행전경소묘,미관분석각개손상위치처적손상형모,상세해석료출현삼충손상현상적원인,병비교료삼충공작상태격광적불동작용궤리.득도적결론시:점손상현상여 CCD 표층적손상유관,선손상현상여루광화전겁간단로유관、완전손상현상여절연층적손상유관;련속격광작용적과정이열용융위주、40 kHz 중빈격광작용적과정이기화소식위주、5 kHz 중빈격광작용적과정포괄기화소식、강기화“충쇄”이급반충압력.
