光电技术应用
光電技術應用
광전기술응용
ELECTRO-OPTIC WARFARE & RADAR PASSIVE COUNTERMEASURES
2012年
2期
21-26
,共6页
激光辐照%半导体%损伤机理%损伤阈值
激光輻照%半導體%損傷機理%損傷閾值
격광복조%반도체%손상궤리%손상역치
紫外激光与半导体相互作用是当今国内外研究的热点.综述了紫外激光与半导体相互作用在光电子产业、激光加工、激光表面改性等方面的应用.介绍了紫外激光与半导体相互作用的基本原理,总结了紫外激光烧蚀半导体的理论模型,包括热传导模型、载流子耦合扩散模型、光化学模型、表面热蒸发模型、双温模型、表面充电模型等.总结了关于损伤形貌、烧蚀阈值和紫外激光损伤半导体机理的实验研究.提出了紫外激光与半导体相互作用可能的研究和新的应用方向
紫外激光與半導體相互作用是噹今國內外研究的熱點.綜述瞭紫外激光與半導體相互作用在光電子產業、激光加工、激光錶麵改性等方麵的應用.介紹瞭紫外激光與半導體相互作用的基本原理,總結瞭紫外激光燒蝕半導體的理論模型,包括熱傳導模型、載流子耦閤擴散模型、光化學模型、錶麵熱蒸髮模型、雙溫模型、錶麵充電模型等.總結瞭關于損傷形貌、燒蝕閾值和紫外激光損傷半導體機理的實驗研究.提齣瞭紫外激光與半導體相互作用可能的研究和新的應用方嚮
자외격광여반도체상호작용시당금국내외연구적열점.종술료자외격광여반도체상호작용재광전자산업、격광가공、격광표면개성등방면적응용.개소료자외격광여반도체상호작용적기본원리,총결료자외격광소식반도체적이론모형,포괄열전도모형、재류자우합확산모형、광화학모형、표면열증발모형、쌍온모형、표면충전모형등.총결료관우손상형모、소식역치화자외격광손상반도체궤리적실험연구.제출료자외격광여반도체상호작용가능적연구화신적응용방향
