光电技术应用
光電技術應用
광전기술응용
ELECTRO-OPTIC WARFARE & RADAR PASSIVE COUNTERMEASURES
2012年
3期
41-45
,共5页
双光栅干涉%位移测量% ZEMAX仿真%误差分析
雙光柵榦涉%位移測量% ZEMAX倣真%誤差分析
쌍광책간섭%위이측량% ZEMAX방진%오차분석
双光栅干涉位移传感器拥有量程大、精度高等优点.文中详细阐述了传感器的测量原理,并对此理论原理进行ZE?MAX软件仿真.与此同时,基于角谱理论推导得到干涉场中的光强分布.结果表明,激光通过双光栅后可以得到三角函数分布的干涉条纹,且双光栅相对移动一个光栅距离时条纹相应移动一个周期.最后分析了对双光栅传感器位移测量结果可能带来误差的因素,以及这些因素对测量结果的影响,文中给出了部分因素的误差表达式
雙光柵榦涉位移傳感器擁有量程大、精度高等優點.文中詳細闡述瞭傳感器的測量原理,併對此理論原理進行ZE?MAX軟件倣真.與此同時,基于角譜理論推導得到榦涉場中的光彊分佈.結果錶明,激光通過雙光柵後可以得到三角函數分佈的榦涉條紋,且雙光柵相對移動一箇光柵距離時條紋相應移動一箇週期.最後分析瞭對雙光柵傳感器位移測量結果可能帶來誤差的因素,以及這些因素對測量結果的影響,文中給齣瞭部分因素的誤差錶達式
쌍광책간섭위이전감기옹유량정대、정도고등우점.문중상세천술료전감기적측량원리,병대차이론원리진행ZE?MAX연건방진.여차동시,기우각보이론추도득도간섭장중적광강분포.결과표명,격광통과쌍광책후가이득도삼각함수분포적간섭조문,차쌍광책상대이동일개광책거리시조문상응이동일개주기.최후분석료대쌍광책전감기위이측량결과가능대래오차적인소,이급저사인소대측량결과적영향,문중급출료부분인소적오차표체식
