火工品
火工品
화공품
INITIATORS & PYROTECHNICS
2012年
4期
1-5
,共5页
王成玲%叶迎华%沈瑞琪%杨程%余协正%朱莹
王成玲%葉迎華%瀋瑞琪%楊程%餘協正%硃瑩
왕성령%협영화%침서기%양정%여협정%주형
MEMS%图形反转%剥离%含能桥膜%点火
MEMS%圖形反轉%剝離%含能橋膜%點火
MEMS%도형반전%박리%함능교막%점화
为了制备高点火能力的复合含能桥膜,对图形反转剥离工艺进行研究,发现其倒梯形的光刻胶剖面有利于制备高精度的厚膜图形.以Ti为过渡层,在Si3N4/Si基底上成功制备出线宽80μm、厚度2μm的W型Ni/Al多层复合含能桥膜,形状完整清晰;SEM和EDS分析表明,桥膜表面晶粒均匀,成分稳定.采用高速摄影仪分别拍摄了等尺寸、等厚度的Al桥膜、Ni桥膜和Ni/Al复合桥膜在100μF电容(140V充电电压)放电下的无药点火情况,发现Ni/Al复合桥膜反应迅速,火焰喷射面积更大,并能抛撒出大量火花,且持续时间最长.
為瞭製備高點火能力的複閤含能橋膜,對圖形反轉剝離工藝進行研究,髮現其倒梯形的光刻膠剖麵有利于製備高精度的厚膜圖形.以Ti為過渡層,在Si3N4/Si基底上成功製備齣線寬80μm、厚度2μm的W型Ni/Al多層複閤含能橋膜,形狀完整清晰;SEM和EDS分析錶明,橋膜錶麵晶粒均勻,成分穩定.採用高速攝影儀分彆拍攝瞭等呎吋、等厚度的Al橋膜、Ni橋膜和Ni/Al複閤橋膜在100μF電容(140V充電電壓)放電下的無藥點火情況,髮現Ni/Al複閤橋膜反應迅速,火燄噴射麵積更大,併能拋撒齣大量火花,且持續時間最長.
위료제비고점화능력적복합함능교막,대도형반전박리공예진행연구,발현기도제형적광각효부면유리우제비고정도적후막도형.이Ti위과도층,재Si3N4/Si기저상성공제비출선관80μm、후도2μm적W형Ni/Al다층복합함능교막,형상완정청석;SEM화EDS분석표명,교막표면정립균균,성분은정.채용고속섭영의분별박섭료등척촌、등후도적Al교막、Ni교막화Ni/Al복합교막재100μF전용(140V충전전압)방전하적무약점화정황,발현Ni/Al복합교막반응신속,화염분사면적경대,병능포살출대량화화,차지속시간최장.
