韩山师范学院学报
韓山師範學院學報
한산사범학원학보
JOURNAL OF HANSHAN TEACHERS COLLEGE
2012年
3期
29-33
,共5页
散射矩阵法%SOI%锗%光致发光谱
散射矩陣法%SOI%鍺%光緻髮光譜
산사구진법%SOI%타%광치발광보
基于散射矩阵法对 SOI 衬底的谐振腔结构进行了理论设计.采用超高真空化学气相沉积系统,在SOI基的Ge虚衬底上制备出高质量的Ge和Ge/SiGe多量子阱材料.室温下样品的光致发光谱表明SOI衬底的谐振腔结构对锗直接带发光起有效的强度增强作用,实验结果与理论预期符合得很好.
基于散射矩陣法對 SOI 襯底的諧振腔結構進行瞭理論設計.採用超高真空化學氣相沉積繫統,在SOI基的Ge虛襯底上製備齣高質量的Ge和Ge/SiGe多量子阱材料.室溫下樣品的光緻髮光譜錶明SOI襯底的諧振腔結構對鍺直接帶髮光起有效的彊度增彊作用,實驗結果與理論預期符閤得很好.
기우산사구진법대 SOI 츤저적해진강결구진행료이론설계.채용초고진공화학기상침적계통,재SOI기적Ge허츤저상제비출고질량적Ge화Ge/SiGe다양자정재료.실온하양품적광치발광보표명SOI츤저적해진강결구대타직접대발광기유효적강도증강작용,실험결과여이론예기부합득흔호.
