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과기전파
PUBLIC COMMUNICATION OF SCIENCE & TECHNOLOGY
2012年
19期
103-105
,共3页
孙玉静%周珑%王树彬%田莳
孫玉靜%週瓏%王樹彬%田蒔
손옥정%주롱%왕수빈%전시
金刚石膜%抛光%石墨化%钢%扩散
金剛石膜%拋光%石墨化%鋼%擴散
금강석막%포광%석묵화%강%확산
本文采用纯铁和碳含量不同的牌号钢作为抛光材料,对CVD金刚石膜进行了热化学抛光.分别采用SEM、Raman光谱和EDS对抛光前后的金刚石膜的微观结构、表面组织和产物进行了表征.结果表明:抛光材料的碳含量对金刚石膜的抛光具有重要影响,且金刚石膜的抛光率主要取决于抛光材料对金刚石石墨化的催化能力.
本文採用純鐵和碳含量不同的牌號鋼作為拋光材料,對CVD金剛石膜進行瞭熱化學拋光.分彆採用SEM、Raman光譜和EDS對拋光前後的金剛石膜的微觀結構、錶麵組織和產物進行瞭錶徵.結果錶明:拋光材料的碳含量對金剛石膜的拋光具有重要影響,且金剛石膜的拋光率主要取決于拋光材料對金剛石石墨化的催化能力.
본문채용순철화탄함량불동적패호강작위포광재료,대CVD금강석막진행료열화학포광.분별채용SEM、Raman광보화EDS대포광전후적금강석막적미관결구、표면조직화산물진행료표정.결과표명:포광재료적탄함량대금강석막적포광구유중요영향,차금강석막적포광솔주요취결우포광재료대금강석석묵화적최화능력.
