科技传播
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과기전파
PUBLIC COMMUNICATION OF SCIENCE & TECHNOLOGY
2013年
2期
108-110
,共3页
MOCVD%有限元模拟%蓝宝石衬底%温度均匀性
MOCVD%有限元模擬%藍寶石襯底%溫度均勻性
MOCVD%유한원모의%람보석츤저%온도균균성
蓝宝石片高温翘曲且半透明,本文利用 Comsol Multiphysics 流体与传热模块耦合的有限元方法对本公司和另一常见 MOCVD 反应腔体和加热器进行高温环境的稳态建模,考虑了翘曲导致的导热不均匀以及耦合了参与介质的辐射.研究了蓝宝石片表面的温度稳态情况,评估了不同腔体和加热器结构温度均匀性在±1K 以内的均温效果.
藍寶石片高溫翹麯且半透明,本文利用 Comsol Multiphysics 流體與傳熱模塊耦閤的有限元方法對本公司和另一常見 MOCVD 反應腔體和加熱器進行高溫環境的穩態建模,攷慮瞭翹麯導緻的導熱不均勻以及耦閤瞭參與介質的輻射.研究瞭藍寶石片錶麵的溫度穩態情況,評估瞭不同腔體和加熱器結構溫度均勻性在±1K 以內的均溫效果.
람보석편고온교곡차반투명,본문이용 Comsol Multiphysics 류체여전열모괴우합적유한원방법대본공사화령일상견 MOCVD 반응강체화가열기진행고온배경적은태건모,고필료교곡도치적도열불균균이급우합료삼여개질적복사.연구료람보석편표면적온도은태정황,평고료불동강체화가열기결구온도균균성재±1K 이내적균온효과.
