科技信息
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과기신식
SCIENTIFIC & TECHNICAL INFORMATION
2012年
34期
684
,共1页
陈英男%郑旭东%张健%赵文平%姜崴
陳英男%鄭旭東%張健%趙文平%薑崴
진영남%정욱동%장건%조문평%강외
PECVD%单腔%真空%薄膜
PECVD%單腔%真空%薄膜
PECVD%단강%진공%박막
PECVD设备是半导体薄膜加工的重要设备之一,设备的优良与稳定性直接决定成膜的优劣.本文以沈阳拓荆科技有限公司自主研发的SC-300单腔产品为例介绍PECVD设备基本组成结构.
PECVD設備是半導體薄膜加工的重要設備之一,設備的優良與穩定性直接決定成膜的優劣.本文以瀋暘拓荊科技有限公司自主研髮的SC-300單腔產品為例介紹PECVD設備基本組成結構.
PECVD설비시반도체박막가공적중요설비지일,설비적우량여은정성직접결정성막적우렬.본문이침양탁형과기유한공사자주연발적SC-300단강산품위례개소PECVD설비기본조성결구.
