科技创新与应用
科技創新與應用
과기창신여응용
Technology Innovation and Application
2013年
3期
4
,共1页
微电子加速度计%模态分析%瞬态响应
微電子加速度計%模態分析%瞬態響應
미전자가속도계%모태분석%순태향응
本文简要分析了微电子加速度计的工作原理,建立了悬臂梁式微电子加速度计的实体模型,采用有限元分析软件 AN原SYS8.0对其进行模态分析、瞬态响应分析以及静电-结构耦合分析,考虑不同设计尺寸条件下器件的灵敏度特性,在瞬时激励下的位移和应力响应情况,并分析了静电力对器件性能的影响.
本文簡要分析瞭微電子加速度計的工作原理,建立瞭懸臂樑式微電子加速度計的實體模型,採用有限元分析軟件 AN原SYS8.0對其進行模態分析、瞬態響應分析以及靜電-結構耦閤分析,攷慮不同設計呎吋條件下器件的靈敏度特性,在瞬時激勵下的位移和應力響應情況,併分析瞭靜電力對器件性能的影響.
본문간요분석료미전자가속도계적공작원리,건립료현비량식미전자가속도계적실체모형,채용유한원분석연건 AN원SYS8.0대기진행모태분석、순태향응분석이급정전-결구우합분석,고필불동설계척촌조건하기건적령민도특성,재순시격려하적위이화응력향응정황,병분석료정전력대기건성능적영향.
