科技创新与应用
科技創新與應用
과기창신여응용
Technology Innovation and Application
2013年
5期
6
,共1页
陈平%舒福璋%段成龙%郑佳晶
陳平%舒福璋%段成龍%鄭佳晶
진평%서복장%단성룡%정가정
晶圆干燥%氮气加热%半导体生产
晶圓榦燥%氮氣加熱%半導體生產
정원간조%담기가열%반도체생산
阐述了制造半导体器件的晶圆在清洗过程中的高洁净度自动烘干环节的重要性,介绍了旋转式晶圆自动干燥装置的结构原理,设计并实现了适合于工业化生产的晶圆自动干燥装置,满足了半导体生产企业对晶圆表面的烘干要求.
闡述瞭製造半導體器件的晶圓在清洗過程中的高潔淨度自動烘榦環節的重要性,介紹瞭鏇轉式晶圓自動榦燥裝置的結構原理,設計併實現瞭適閤于工業化生產的晶圓自動榦燥裝置,滿足瞭半導體生產企業對晶圓錶麵的烘榦要求.
천술료제조반도체기건적정원재청세과정중적고길정도자동홍간배절적중요성,개소료선전식정원자동간조장치적결구원리,설계병실현료괄합우공업화생산적정원자동간조장치,만족료반도체생산기업대정원표면적홍간요구.
