江苏科技信息
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강소과기신식
JIANGSU SCIENCE & TECHNOLOGY INFORMATION
2013年
7期
52
,共1页
干法蚀刻%二氧化硅%工艺参数%刻蚀参数
榦法蝕刻%二氧化硅%工藝參數%刻蝕參數
간법식각%이양화규%공예삼수%각식삼수
文章阐述了二氧化硅干法蚀刻的原理和主要的蚀刻参数.应用正交实验,优化了蚀刻速率、均匀性、选择比等主要蚀刻参数,得出主要工艺参数的设置方法和理想条件漂移时的调整方法以及优化选择比的蚀刻方案.
文章闡述瞭二氧化硅榦法蝕刻的原理和主要的蝕刻參數.應用正交實驗,優化瞭蝕刻速率、均勻性、選擇比等主要蝕刻參數,得齣主要工藝參數的設置方法和理想條件漂移時的調整方法以及優化選擇比的蝕刻方案.
문장천술료이양화규간법식각적원리화주요적식각삼수.응용정교실험,우화료식각속솔、균균성、선택비등주요식각삼수,득출주요공예삼수적설치방법화이상조건표이시적조정방법이급우화선택비적식각방안.
