农家科技(下旬刊)
農傢科技(下旬刊)
농가과기(하순간)
NONGJIA KEJI
2013年
2期
128
,共1页
离子注入%晶格损伤%二次缺陷%退火效应
離子註入%晶格損傷%二次缺陷%退火效應
리자주입%정격손상%이차결함%퇴화효응
离子注人掺杂工艺已成为半导体器件和大规模集成电路生产中一项重要的技术.本文主要探讨目前集成电路工艺中,离子注入引起的晶格损伤、二次缺陷机制、以及退火对晶格损伤的影响.
離子註人摻雜工藝已成為半導體器件和大規模集成電路生產中一項重要的技術.本文主要探討目前集成電路工藝中,離子註入引起的晶格損傷、二次缺陷機製、以及退火對晶格損傷的影響.
리자주인참잡공예이성위반도체기건화대규모집성전로생산중일항중요적기술.본문주요탐토목전집성전로공예중,리자주입인기적정격손상、이차결함궤제、이급퇴화대정격손상적영향.
