安庆师范学院学报(自然科学版)
安慶師範學院學報(自然科學版)
안경사범학원학보(자연과학판)
JOURNAL OF ANQING TEACHERS COLLEGE(NATURAL SCIENCE)
2013年
2期
76-79
,共4页
非晶硅薄膜%质谱%辉光放电%消耗率
非晶硅薄膜%質譜%輝光放電%消耗率
비정규박막%질보%휘광방전%소모솔
a -Si film%mass spectrometer%glow discharge%depletion fraction
利用 RGA100质谱仪成功地实现了对 SiH4辉光放电等离子体的在线检测.根据线性拟合的方法获得了SiH4消耗率及中性基团 SiHn (n =1,2,3)在空间的分布规律,并对此进行了详细的分析和讨论.
利用 RGA100質譜儀成功地實現瞭對 SiH4輝光放電等離子體的在線檢測.根據線性擬閤的方法穫得瞭SiH4消耗率及中性基糰 SiHn (n =1,2,3)在空間的分佈規律,併對此進行瞭詳細的分析和討論.
이용 RGA100질보의성공지실현료대 SiH4휘광방전등리자체적재선검측.근거선성의합적방법획득료SiH4소모솔급중성기단 SiHn (n =1,2,3)재공간적분포규률,병대차진행료상세적분석화토론.
@@@@We successfully detected SiH4 glow discharge plasma by RGA100 mass spectrometer.The axial distribution of the SiH4 depletion fraction and the neutral radicals were obtained by the proposed straight -line fit method.The experimental results were analyzed and discussed in detail.
