制造业自动化
製造業自動化
제조업자동화
MANUFACTURING AUTOMATION
2013年
10期
36-37
,共2页
臧跃%周海%徐晓明%卓志国
臧躍%週海%徐曉明%卓誌國
장약%주해%서효명%탁지국
双面研磨轨迹优化%碳化硅衬底%均匀性%材料去除率
雙麵研磨軌跡優化%碳化硅襯底%均勻性%材料去除率
쌍면연마궤적우화%탄화규츤저%균균성%재료거제솔
本文研究了基于双面研磨轨迹优化的LED用SiC衬底加工方法.为了实现对碳化硅衬底的高效低损伤研磨加工,对碳化硅衬底的行星机构双面研磨轨迹进行了优化.通过选择适当的加工参数,使工件处于摆线中间的环带部分,将有助于对工件进行均匀研磨并提高材料去除率.实验表明:采用320号碳化硼磨料双面研磨碳化硅衬底90min后,可以获得Ra为0.579 mμ;材料去除率达到1.53/ minmμ.
本文研究瞭基于雙麵研磨軌跡優化的LED用SiC襯底加工方法.為瞭實現對碳化硅襯底的高效低損傷研磨加工,對碳化硅襯底的行星機構雙麵研磨軌跡進行瞭優化.通過選擇適噹的加工參數,使工件處于襬線中間的環帶部分,將有助于對工件進行均勻研磨併提高材料去除率.實驗錶明:採用320號碳化硼磨料雙麵研磨碳化硅襯底90min後,可以穫得Ra為0.579 mμ;材料去除率達到1.53/ minmμ.
본문연구료기우쌍면연마궤적우화적LED용SiC츤저가공방법.위료실현대탄화규츤저적고효저손상연마가공,대탄화규츤저적행성궤구쌍면연마궤적진행료우화.통과선택괄당적가공삼수,사공건처우파선중간적배대부분,장유조우대공건진행균균연마병제고재료거제솔.실험표명:채용320호탄화붕마료쌍면연마탄화규츤저90min후,가이획득Ra위0.579 mμ;재료거제솔체도1.53/ minmμ.
