河南大学学报（自然科学版）
河南大學學報（自然科學版）
하남대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF HENAN UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2012年
6期
707-711
,共5页
吴木营%刘敏霞%李洪涛%杨雷%张伟风
吳木營%劉敏霞%李洪濤%楊雷%張偉風
오목영%류민하%리홍도%양뢰%장위풍
工艺条件%导电陶瓷%透明导电氧化物%镓掺杂氧化锌薄膜%射频磁控溅射
工藝條件%導電陶瓷%透明導電氧化物%鎵摻雜氧化鋅薄膜%射頻磁控濺射
공예조건%도전도자%투명도전양화물%가참잡양화자박막%사빈자공천사
用高温固相反应法制备了镓掺杂的氧化锌导电陶瓷,研究了预烧温度、烧结温度和掺杂浓度等工艺条件；用射频磁控溅射方法分别在玻璃和石英基底上沉积了镓掺杂的氧化锌薄膜,研究了该薄膜在不同的基底温度和不同的氧氩比等条件下的光电性质的变化情况以及氮气氛下不同退火温度下的光电性质,结果表明:镓掺杂氧化锌薄膜在450℃的基底温度、2％的掺杂浓度和700℃的退火温度等条件下实现了0.84×10-4 Ω·cm的低电阻率和大于90％的可见光透过率,其光学带隙随退火温度的上升也有一定程度的增大.
用高溫固相反應法製備瞭鎵摻雜的氧化鋅導電陶瓷,研究瞭預燒溫度、燒結溫度和摻雜濃度等工藝條件；用射頻磁控濺射方法分彆在玻璃和石英基底上沉積瞭鎵摻雜的氧化鋅薄膜,研究瞭該薄膜在不同的基底溫度和不同的氧氬比等條件下的光電性質的變化情況以及氮氣氛下不同退火溫度下的光電性質,結果錶明:鎵摻雜氧化鋅薄膜在450℃的基底溫度、2％的摻雜濃度和700℃的退火溫度等條件下實現瞭0.84×10-4 Ω·cm的低電阻率和大于90％的可見光透過率,其光學帶隙隨退火溫度的上升也有一定程度的增大.
용고온고상반응법제비료가참잡적양화자도전도자,연구료예소온도、소결온도화참잡농도등공예조건；용사빈자공천사방법분별재파리화석영기저상침적료가참잡적양화자박막,연구료해박막재불동적기저온도화불동적양아비등조건하적광전성질적변화정황이급담기분하불동퇴화온도하적광전성질,결과표명:가참잡양화자박막재450℃적기저온도、2％적참잡농도화700℃적퇴화온도등조건하실현료0.84×10-4 Ω·cm적저전조솔화대우90％적가견광투과솔,기광학대극수퇴화온도적상승야유일정정도적증대.
