河南大学学报（自然科学版）
河南大學學報（自然科學版）
하남대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF HENAN UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2012年
6期
699-702
,共4页
魏荣慧%杜凯%巩晓阳%陈庆东%李立本%杨海滨
魏榮慧%杜凱%鞏曉暘%陳慶東%李立本%楊海濱
위영혜%두개%공효양%진경동%리립본%양해빈
化学池沉积%MoS2膜%Si基底%镍
化學池沉積%MoS2膜%Si基底%鎳
화학지침적%MoS2막%Si기저%얼
利用化学池沉积法在化学镀镍的n-Si基底上沉积MoS2薄膜.结果显示,MoS2膜的最佳合成条件为:钼酸铵浓度为10-4 mlo/L,退火温度为850℃.此时,得到具有六角晶形的Ⅱ型膜,MoS2膜晶体尺寸约200 nm.没有Ni诱导层的MoS2膜结晶很差,无确定取向.相同条件下,以Ni为诱导层的样品为具有沿[002]取向的Ⅱ型MoS2膜,并且具有较好的六角晶形,说明Ni诱导层对于得到Ⅱ型MoS2膜的重要性.Ni诱导层的影响归于液态S-Ni相的形成并提供的沿[002]方向的生长动力.
利用化學池沉積法在化學鍍鎳的n-Si基底上沉積MoS2薄膜.結果顯示,MoS2膜的最佳閤成條件為:鉬痠銨濃度為10-4 mlo/L,退火溫度為850℃.此時,得到具有六角晶形的Ⅱ型膜,MoS2膜晶體呎吋約200 nm.沒有Ni誘導層的MoS2膜結晶很差,無確定取嚮.相同條件下,以Ni為誘導層的樣品為具有沿[002]取嚮的Ⅱ型MoS2膜,併且具有較好的六角晶形,說明Ni誘導層對于得到Ⅱ型MoS2膜的重要性.Ni誘導層的影響歸于液態S-Ni相的形成併提供的沿[002]方嚮的生長動力.
이용화학지침적법재화학도얼적n-Si기저상침적MoS2박막.결과현시,MoS2막적최가합성조건위:목산안농도위10-4 mlo/L,퇴화온도위850℃.차시,득도구유륙각정형적Ⅱ형막,MoS2막정체척촌약200 nm.몰유Ni유도층적MoS2막결정흔차,무학정취향.상동조건하,이Ni위유도층적양품위구유연[002]취향적Ⅱ형MoS2막,병차구유교호적륙각정형,설명Ni유도층대우득도Ⅱ형MoS2막적중요성.Ni유도층적영향귀우액태S-Ni상적형성병제공적연[002]방향적생장동력.
