粉末冶金技术
粉末冶金技術
분말야금기술
POWDER METALLURGY TECHNOLOGY
2014年
5期
328-334,351
,共8页
钼%靶材%微观组织%溅射%性能
鉬%靶材%微觀組織%濺射%性能
목%파재%미관조직%천사%성능
Mo%target%microstructure%sputter%property
通过研究靶材变形量及热处理工艺对溅射薄膜的微观组织、表面粗糙度及晶形的影响,结果表明:变形量为80％的钼靶材溅射制备的薄膜晶化程度优于变形量小的靶材溅射薄膜;溅射相同的薄膜厚度,随着靶材变形量的增大,溅射薄膜的方阻越大;1100℃退火靶材溅射薄膜的粗糙度最小,表面颗粒最细小均匀,晶粒取向明显.
通過研究靶材變形量及熱處理工藝對濺射薄膜的微觀組織、錶麵粗糙度及晶形的影響,結果錶明:變形量為80％的鉬靶材濺射製備的薄膜晶化程度優于變形量小的靶材濺射薄膜;濺射相同的薄膜厚度,隨著靶材變形量的增大,濺射薄膜的方阻越大;1100℃退火靶材濺射薄膜的粗糙度最小,錶麵顆粒最細小均勻,晶粒取嚮明顯.
통과연구파재변형량급열처리공예대천사박막적미관조직、표면조조도급정형적영향,결과표명:변형량위80％적목파재천사제비적박막정화정도우우변형량소적파재천사박막;천사상동적박막후도,수착파재변형량적증대,천사박막적방조월대;1100℃퇴화파재천사박막적조조도최소,표면과립최세소균균,정립취향명현.
