影像科学与光化学
影像科學與光化學
영상과학여광화학
IMAGING SCIENCE AND PHOTOCHEMISTRY
2014年
6期
542-549
,共8页
贾雁鹏%郑美玲%董贤子%赵震声%段宣明
賈雁鵬%鄭美玲%董賢子%趙震聲%段宣明
가안붕%정미령%동현자%조진성%단선명
双光子微纳加工技术%化学镀%三维金属微纳米结构
雙光子微納加工技術%化學鍍%三維金屬微納米結構
쌍광자미납가공기술%화학도%삼유금속미납미결구
two-photon polymerization%electroless plating technique%three dimensional metallic micro structures
利用飞秒激光双光子微纳加工技术与化学镀工艺制备了三维金属微弹簧结构.采用扫描电子显微镜(SEM)及选区电子能谱(EDS)对镀层进行了表征,当化学镀时间为15 min时,所得到的镀层厚度约为130 nm.对不同电镀时间下获得的镀层电阻率进行了测定,实验结果表明,当电镀时间为35 min时得到的镀层电阻率约为80×10-9 Ω·m,仅为银块体材料电阻率16×10-9 Ω·m的5倍.利用这种方法,我们制备了总长度为28.75 μm、周期为2.93 μm的悬空金属弹簧结构,其中弹簧圈数为9圈,直径为6 μm,弹簧线分辨率为1.17 μm.文中所述的将双光子微纳加工技术与化学镀技术相结合的方法可以实现任意三维微金属结构与器件的制备,在微光学器件、微机电系统(MEMS)及微传感器等领域有着广泛的应用前景.
利用飛秒激光雙光子微納加工技術與化學鍍工藝製備瞭三維金屬微彈簧結構.採用掃描電子顯微鏡(SEM)及選區電子能譜(EDS)對鍍層進行瞭錶徵,噹化學鍍時間為15 min時,所得到的鍍層厚度約為130 nm.對不同電鍍時間下穫得的鍍層電阻率進行瞭測定,實驗結果錶明,噹電鍍時間為35 min時得到的鍍層電阻率約為80×10-9 Ω·m,僅為銀塊體材料電阻率16×10-9 Ω·m的5倍.利用這種方法,我們製備瞭總長度為28.75 μm、週期為2.93 μm的懸空金屬彈簧結構,其中彈簧圈數為9圈,直徑為6 μm,彈簧線分辨率為1.17 μm.文中所述的將雙光子微納加工技術與化學鍍技術相結閤的方法可以實現任意三維微金屬結構與器件的製備,在微光學器件、微機電繫統(MEMS)及微傳感器等領域有著廣汎的應用前景.
이용비초격광쌍광자미납가공기술여화학도공예제비료삼유금속미탄황결구.채용소묘전자현미경(SEM)급선구전자능보(EDS)대도층진행료표정,당화학도시간위15 min시,소득도적도층후도약위130 nm.대불동전도시간하획득적도층전조솔진행료측정,실험결과표명,당전도시간위35 min시득도적도층전조솔약위80×10-9 Ω·m,부위은괴체재료전조솔16×10-9 Ω·m적5배.이용저충방법,아문제비료총장도위28.75 μm、주기위2.93 μm적현공금속탄황결구,기중탄황권수위9권,직경위6 μm,탄황선분변솔위1.17 μm.문중소술적장쌍광자미납가공기술여화학도기술상결합적방법가이실현임의삼유미금속결구여기건적제비,재미광학기건、미궤전계통(MEMS)급미전감기등영역유착엄범적응용전경.
