计算机集成制造系统
計算機集成製造繫統
계산궤집성제조계통
COMPUTER INTEGRATED MANUFACTURING SYSTEMS
2014年
11期
2857-2862
,共6页
指数加权移动平均控制器%在线优化%性能评估%自动整定
指數加權移動平均控製器%在線優化%性能評估%自動整定
지수가권이동평균공제기%재선우화%성능평고%자동정정
exponentially weighted moving average controller%online optimization%performance assessment%auto-tuning
为解决半导体制造业中小批量、多品种的生产特性和设备老化造成的控制器性能下降的问题,针对最常用的指数加权移动平均控制器,提出一种基于性能评估的在线优化方法.在性能评估过程中,以时间序列分析中定义的输出均方差作为评判基准,提出一种新的性能评价指标.通过评估EWMA控制器的性能得到控制器当前的最优参数并自动整定,同时结合移动窗口技术实现在线优化,使控制器性能始终保持在最佳状态.为验证方法的可行性和有效性,以化学机械抛光过程的在线优化问题为实例进行了仿真实验.
為解決半導體製造業中小批量、多品種的生產特性和設備老化造成的控製器性能下降的問題,針對最常用的指數加權移動平均控製器,提齣一種基于性能評估的在線優化方法.在性能評估過程中,以時間序列分析中定義的輸齣均方差作為評判基準,提齣一種新的性能評價指標.通過評估EWMA控製器的性能得到控製器噹前的最優參數併自動整定,同時結閤移動窗口技術實現在線優化,使控製器性能始終保持在最佳狀態.為驗證方法的可行性和有效性,以化學機械拋光過程的在線優化問題為實例進行瞭倣真實驗.
위해결반도체제조업중소비량、다품충적생산특성화설비노화조성적공제기성능하강적문제,침대최상용적지수가권이동평균공제기,제출일충기우성능평고적재선우화방법.재성능평고과정중,이시간서렬분석중정의적수출균방차작위평판기준,제출일충신적성능평개지표.통과평고EWMA공제기적성능득도공제기당전적최우삼수병자동정정,동시결합이동창구기술실현재선우화,사공제기성능시종보지재최가상태.위험증방법적가행성화유효성,이화학궤계포광과정적재선우화문제위실례진행료방진실험.
