计算机集成制造系统
計算機集成製造繫統
계산궤집성제조계통
COMPUTER INTEGRATED MANUFACTURING SYSTEMS
2014年
11期
2808-2813
,共6页
半导体制造%性能指标驱动%调度方法%工况%极限学习机
半導體製造%性能指標驅動%調度方法%工況%極限學習機
반도체제조%성능지표구동%조도방법%공황%겁한학습궤
semiconductor manufacturing%objective-driven%dispatching rule%working condition%extreme learning machine
为了求解不确定生产环境下的半导体生产线调度问题,提出一种基于极限学习机的性能指标驱动的动态派工方法.首先通过半导体生产线仿真系统仿真,得到所需样本,进而通过极限学习机建立半导体生产线性能指标预测模型;然后通过预测出的性能指标,结合生产线的实时状态信息,学习产生调度过程中的动态派工规则算法所需的最佳系数,驱动生产线派工决策,使其性能指标趋向预测值,最终达到提高生产线整体性能的目的.通过仿真平台验证了该方法能够有效提高生产线的性能指标.
為瞭求解不確定生產環境下的半導體生產線調度問題,提齣一種基于極限學習機的性能指標驅動的動態派工方法.首先通過半導體生產線倣真繫統倣真,得到所需樣本,進而通過極限學習機建立半導體生產線性能指標預測模型;然後通過預測齣的性能指標,結閤生產線的實時狀態信息,學習產生調度過程中的動態派工規則算法所需的最佳繫數,驅動生產線派工決策,使其性能指標趨嚮預測值,最終達到提高生產線整體性能的目的.通過倣真平檯驗證瞭該方法能夠有效提高生產線的性能指標.
위료구해불학정생산배경하적반도체생산선조도문제,제출일충기우겁한학습궤적성능지표구동적동태파공방법.수선통과반도체생산선방진계통방진,득도소수양본,진이통과겁한학습궤건립반도체생산선성능지표예측모형;연후통과예측출적성능지표,결합생산선적실시상태신식,학습산생조도과정중적동태파공규칙산법소수적최가계수,구동생산선파공결책,사기성능지표추향예측치,최종체도제고생산선정체성능적목적.통과방진평태험증료해방법능구유효제고생산선적성능지표.
