CAJ | 학술논문

为了在光刻机投影物镜中使用压电陶瓷对像质补偿镜组进行精密定位,设计了一种以集成运算放大器构成的压电陶瓷驱动电路.针对光刻物镜中压电陶瓷的亚微米量级高精度定位要求,研究了驱动电路的系统精度要求,并对系统误差进行分解,着重分析了运算放大器放对系统精度的影响.首先,分析运放失调误差的影响;其次,使用PSpice仿真获得运放的固有频率特性,分析工作带宽下运放有限开环增益的影响;然后,对运放反馈网络的影响进行分析;最后,分析运放输出噪声的影响.计算表明,在最坏情况下该压电陶瓷驱动电路中由运算放大器引起的系统误差小于130 mV,满足系统误差分配的要求.试制了系统样机并进行了验证实验,实验结果表明由运放引起的系统误差不超过100 mV,与理论分析的结果符合.
위료재광각궤투영물경중사용압전도자대상질보상경조진행정밀정위,설계료일충이집성운산방대기구성적압전도자구동전로.침대광각물경중압전도자적아미미량급고정도정위요구,연구료구동전로적계통정도요구,병대계통오차진행분해,착중분석료운산방대기방대계통정도적영향.수선,분석운방실조오차적영향;기차,사용PSpice방진획득운방적고유빈솔특성,분석공작대관하운방유한개배증익적영향;연후,대운방반궤망락적영향진행분석;최후,분석운방수출조성적영향.계산표명,재최배정황하해압전도자구동전로중유운산방대기인기적계통오차소우130 mV,만족계통오차분배적요구.시제료계통양궤병진행료험증실험,실험결과표명유운방인기적계통오차불초과100 mV,여이론분석적결과부합.