PECVD法硅纳米晶体的制备及在线表面改性
PECVD법규납미정체적제비급재선표면개성
The synthesis and in-flight passivation of silicon nanocrystals via PECVD
  • 万方数据
    西南民族大学学报（自然科学版） 서남민족대학학보（자연과학판）
    JOURNAL OF SOUTHWEST NATIONALITIES COLLEGE·NATURAL SCIENCE EDITION
    2014年 6期 928-934 ,共7页

    张珈铭%张念波%张静全%李卫%武莉莉%黎兵%冯良桓

    장가명%장념파%장정전%리위%무리리%려병%풍량환

    纳米晶硅%PECVD%制备%表面改性 納米晶硅%PECVD%製備%錶麵改性
    납미정규%PECVD%제비%표면개성
    通过等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)制备粒径大小可以控制的硅纳米晶体,并对制备的纳米晶硅进行了在线表面改性.实验结果表明:成功获得了表面经烃基改性的不同粒径的纳米晶硅.相较于没有改性的纳米晶硅,它具有良好的抗氧化性和抗团簇能力,在有机溶剂中有着很好的分散性.
    통과등리자체증강화학기상침적법(PECVD)제비립경대소가이공제적규납미정체,병대제비적납미정규진행료재선표면개성.실험결과표명:성공획득료표면경경기개성적불동립경적납미정규.상교우몰유개성적납미정규,타구유량호적항양화성화항단족능력,재유궤용제중유착흔호적분산성.
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