通化师范学院学报
通化師範學院學報
통화사범학원학보
JOURNAL OF TONGHUA TEACHERS COLLEGE
2014年
10期
42-44
,共3页
徐井华%崔舒%汉语%刘成有
徐井華%崔舒%漢語%劉成有
서정화%최서%한어%류성유
磁控溅射%ZnO薄膜%发光特性%表面形貌
磁控濺射%ZnO薄膜%髮光特性%錶麵形貌
자공천사%ZnO박막%발광특성%표면형모
该文用磁控溅射法在蓝宝石衬底上生长了ZnO薄膜,所得薄膜采用X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)、紫外可见分光光度计(UVS)、光致荧光光谱(PL)对样品的结构、形貌和发光特性进行表征.结果表明掺杂后的ZnO薄膜仍为六角纤锌矿结构,磁控溅射镀膜样品的透射边随着退火温度的提高发生蓝移又红移现象,所有样品都有比较好的发光性能;900℃溅射镀膜样品的表面形貌平整度较好,粒子分布均匀.
該文用磁控濺射法在藍寶石襯底上生長瞭ZnO薄膜,所得薄膜採用X射線衍射儀(XRD)、原子力顯微鏡(AFM)、紫外可見分光光度計(UVS)、光緻熒光光譜(PL)對樣品的結構、形貌和髮光特性進行錶徵.結果錶明摻雜後的ZnO薄膜仍為六角纖鋅礦結構,磁控濺射鍍膜樣品的透射邊隨著退火溫度的提高髮生藍移又紅移現象,所有樣品都有比較好的髮光性能;900℃濺射鍍膜樣品的錶麵形貌平整度較好,粒子分佈均勻.
해문용자공천사법재람보석츤저상생장료ZnO박막,소득박막채용X사선연사의(XRD)、원자력현미경(AFM)、자외가견분광광도계(UVS)、광치형광광보(PL)대양품적결구、형모화발광특성진행표정.결과표명참잡후적ZnO박막잉위륙각섬자광결구,자공천사도막양품적투사변수착퇴화온도적제고발생람이우홍이현상,소유양품도유비교호적발광성능;900℃천사도막양품적표면형모평정도교호,입자분포균균.
