自动化技术与应用
自動化技術與應用
자동화기술여응용
TECHNIQUES OF AUTOMATION AND APPLICATIONS
2014年
11期
57-61,66
,共6页
张之万%徐加彦%陈兴林%强盛
張之萬%徐加彥%陳興林%彊盛
장지만%서가언%진흥림%강성
光刻机掩模台%三环PID控制%传递函数建模
光刻機掩模檯%三環PID控製%傳遞函數建模
광각궤엄모태%삼배PID공제%전체함수건모
lithography reticle stage%three-loop PID control%transfer function determination
光刻机在集成电路的大规模生产中占有重要地位.掩模台的高速度高精度控制直接决定了芯片制造的线宽及生产效率.本文介绍了运动控制中常用的三环PID控制方法.此方法易于调试,控制精度高.分析了磁悬浮平台结构的摩擦阻力特性.通过实验测试及系统辨识得到控制系统传递函数模型后,进行仿真分析,确定了控制器参数.在控制系统中加入扰动信号进行仿真,证明系统在扰动存在下,控制可以达到预期纳米级精度.
光刻機在集成電路的大規模生產中佔有重要地位.掩模檯的高速度高精度控製直接決定瞭芯片製造的線寬及生產效率.本文介紹瞭運動控製中常用的三環PID控製方法.此方法易于調試,控製精度高.分析瞭磁懸浮平檯結構的摩抆阻力特性.通過實驗測試及繫統辨識得到控製繫統傳遞函數模型後,進行倣真分析,確定瞭控製器參數.在控製繫統中加入擾動信號進行倣真,證明繫統在擾動存在下,控製可以達到預期納米級精度.
광각궤재집성전로적대규모생산중점유중요지위.엄모태적고속도고정도공제직접결정료심편제조적선관급생산효솔.본문개소료운동공제중상용적삼배PID공제방법.차방법역우조시,공제정도고.분석료자현부평태결구적마찰조력특성.통과실험측시급계통변식득도공제계통전체함수모형후,진행방진분석,학정료공제기삼수.재공제계통중가입우동신호진행방진,증명계통재우동존재하,공제가이체도예기납미급정도.
