兵工学报
兵工學報
병공학보
ACTA ARMAMENTARII
2014年
11期
1860-1866
,共7页
电子技术%高g值加速度计%电容式微机械加速度计%微机电系统%仿真设计
電子技術%高g值加速度計%電容式微機械加速度計%微機電繫統%倣真設計
전자기술%고g치가속도계%전용식미궤계가속도계%미궤전계통%방진설계
electronic technology%high-g accelerometer%capacitive micro-machined accelerometer%micro-electro-mechanical system%simulation design
针对特殊场合的高g值加速度测试需求,提出了一种叉齿电容式高量程微机械加速度计的结构形式,采用面内敏感的变面积差动电容变化方式,并针对传感器固有频率、横向效应、量程和加速度灵敏度进行了设计分析.仿真结果表明:该加速度计量程200 000 g,固有频率266.2 kHz,模态分离比大于2.5,0～10 kHz通频带内加速度分辨率优于60 g.基于硅-玻璃微机械工艺进行了加速度计微结构的流片加工、镜检测试和传感器的初步冲击实验验证.相比已有的高量程微机械加速度计,该设计具有线性度好、横向效应小、加速度灵敏度高和抗高过载能力强等特点.
針對特殊場閤的高g值加速度測試需求,提齣瞭一種扠齒電容式高量程微機械加速度計的結構形式,採用麵內敏感的變麵積差動電容變化方式,併針對傳感器固有頻率、橫嚮效應、量程和加速度靈敏度進行瞭設計分析.倣真結果錶明:該加速度計量程200 000 g,固有頻率266.2 kHz,模態分離比大于2.5,0～10 kHz通頻帶內加速度分辨率優于60 g.基于硅-玻璃微機械工藝進行瞭加速度計微結構的流片加工、鏡檢測試和傳感器的初步遲擊實驗驗證.相比已有的高量程微機械加速度計,該設計具有線性度好、橫嚮效應小、加速度靈敏度高和抗高過載能力彊等特點.
침대특수장합적고g치가속도측시수구,제출료일충차치전용식고량정미궤계가속도계적결구형식,채용면내민감적변면적차동전용변화방식,병침대전감기고유빈솔、횡향효응、량정화가속도령민도진행료설계분석.방진결과표명:해가속도계량정200 000 g,고유빈솔266.2 kHz,모태분리비대우2.5,0～10 kHz통빈대내가속도분변솔우우60 g.기우규-파리미궤계공예진행료가속도계미결구적류편가공、경검측시화전감기적초보충격실험험증.상비이유적고량정미궤계가속도계,해설계구유선성도호、횡향효응소、가속도령민도고화항고과재능력강등특점.
