科学技术与工程
科學技術與工程
과학기술여공정
SCIENCE TECHNOLOGY AND ENGINEERING
2014年
34期
213-218
,共6页
叶雨欣%焦斌斌%孙灵芳%孔延梅%刘瑞文
葉雨訢%焦斌斌%孫靈芳%孔延梅%劉瑞文
협우흔%초빈빈%손령방%공연매%류서문
可编程多轴控制器(programmable multi-axis controller,PMAC)%自动探针台%开放式数控系统
可編程多軸控製器(programmable multi-axis controller,PMAC)%自動探針檯%開放式數控繫統
가편정다축공제기(programmable multi-axis controller,PMAC)%자동탐침태%개방식수공계통
programmable multi-axis controller(PMAC)%automatic probe station%open NC systems
探针测试台是一种传统半导体工艺中间测试设备,用于在硅片划片前测试电子器件性能、良率,并给出其在晶圆上分布的映射图表.目前国内外自动或半自动探针测试台都是针对传统IC电路设计,采用封闭式结构,无法根据传感器多变的特性、复杂的测试环境需求完成对器件的片上测试.采用美国Delta Tau公司推出的PMAC可编程多轴运动控制器作为核心控制系统,构建了一套针对红外热电堆器件特殊测试需求的批量化片上测试系统.该测试系统具有响应速度快、控制精度高、可扩展性强的特性,不仅可满足红外热电堆器件的片上批量化测试需求,还可通过定制性的模块删减以满足不同传感器的片上测试.
探針測試檯是一種傳統半導體工藝中間測試設備,用于在硅片劃片前測試電子器件性能、良率,併給齣其在晶圓上分佈的映射圖錶.目前國內外自動或半自動探針測試檯都是針對傳統IC電路設計,採用封閉式結構,無法根據傳感器多變的特性、複雜的測試環境需求完成對器件的片上測試.採用美國Delta Tau公司推齣的PMAC可編程多軸運動控製器作為覈心控製繫統,構建瞭一套針對紅外熱電堆器件特殊測試需求的批量化片上測試繫統.該測試繫統具有響應速度快、控製精度高、可擴展性彊的特性,不僅可滿足紅外熱電堆器件的片上批量化測試需求,還可通過定製性的模塊刪減以滿足不同傳感器的片上測試.
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