液压与气动
液壓與氣動
액압여기동
CHINESE HYDRAULICS & PNEUMATICS
2014年
11期
15-17,52
,共4页
寇旗旗%张辉%许亚峰%马思宇%王传礼
寇旂旂%張輝%許亞峰%馬思宇%王傳禮
구기기%장휘%허아봉%마사우%왕전례
GMM薄膜%制备工艺%双平面线圈%微泵
GMM薄膜%製備工藝%雙平麵線圈%微泵
GMM박막%제비공예%쌍평면선권%미빙
GMM thin films%processing technology%double plane coil%micropump
针对由超磁致伸缩材料驱动的微泵体积大、流量小的问题,提出了一种用于精密输液的基于双平面线圈驱动的GMM薄膜新型微泵,采用双平面螺旋线圈作为驱动部件并设计双泵腔,以减小微泵的体积、增大微泵流量.该研究对新型微泵结构原理、制备工艺和输出流量进行了分析,结果表明该新型薄膜微泵具有输出流量大、尺寸小、易于微型化、响应速度快和精度高等优越性能,为微流体机电系统的驱动提供一种新的动力装置.
針對由超磁緻伸縮材料驅動的微泵體積大、流量小的問題,提齣瞭一種用于精密輸液的基于雙平麵線圈驅動的GMM薄膜新型微泵,採用雙平麵螺鏇線圈作為驅動部件併設計雙泵腔,以減小微泵的體積、增大微泵流量.該研究對新型微泵結構原理、製備工藝和輸齣流量進行瞭分析,結果錶明該新型薄膜微泵具有輸齣流量大、呎吋小、易于微型化、響應速度快和精度高等優越性能,為微流體機電繫統的驅動提供一種新的動力裝置.
침대유초자치신축재료구동적미빙체적대、류량소적문제,제출료일충용우정밀수액적기우쌍평면선권구동적GMM박막신형미빙,채용쌍평면라선선권작위구동부건병설계쌍빙강,이감소미빙적체적、증대미빙류량.해연구대신형미빙결구원리、제비공예화수출류량진행료분석,결과표명해신형박막미빙구유수출류량대、척촌소、역우미형화、향응속도쾌화정도고등우월성능,위미류체궤전계통적구동제공일충신적동력장치.
