传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2014年
12期
10-12,16
,共4页
微机电系统%质量分析器%小型化%离子阱%航天
微機電繫統%質量分析器%小型化%離子阱%航天
미궤전계통%질량분석기%소형화%리자정%항천
MEMS%mass spectrometer%miniaturization%ion trap%space
公共治安、食品安全、环境保护、工业生产过程监测和载人航天及深空探测等领域急需微小型质谱仪,用于成分在线检测与分析.离子阱质谱仪较其他质谱仪具有真空度要求低、操作灵活和串联质谱性能良好等优点,更加适合进行小型化和微型化.对小型离子阱质谱、MEMS离子阱质谱的发展及其在航天领域的应用进行总结,试图找出制约离子阱质谱小型化发展的主要技术瓶颈,并提出了解决途径.最后对微小型离子阱的发展及其在航天领域的应用前景进行了展望.
公共治安、食品安全、環境保護、工業生產過程鑑測和載人航天及深空探測等領域急需微小型質譜儀,用于成分在線檢測與分析.離子阱質譜儀較其他質譜儀具有真空度要求低、操作靈活和串聯質譜性能良好等優點,更加適閤進行小型化和微型化.對小型離子阱質譜、MEMS離子阱質譜的髮展及其在航天領域的應用進行總結,試圖找齣製約離子阱質譜小型化髮展的主要技術瓶頸,併提齣瞭解決途徑.最後對微小型離子阱的髮展及其在航天領域的應用前景進行瞭展望.
공공치안、식품안전、배경보호、공업생산과정감측화재인항천급심공탐측등영역급수미소형질보의,용우성분재선검측여분석.리자정질보의교기타질보의구유진공도요구저、조작령활화천련질보성능량호등우점,경가괄합진행소형화화미형화.대소형리자정질보、MEMS리자정질보적발전급기재항천영역적응용진행총결,시도조출제약리자정질보소형화발전적주요기술병경,병제출료해결도경.최후대미소형리자정적발전급기재항천영역적응용전경진행료전망.
