强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2014年
12期
221-225
,共5页
刘艳松%许华%李俊%何智兵
劉豔鬆%許華%李俊%何智兵
류염송%허화%리준%하지병
磁控溅射%Mo涂层%表面粗糙度%工作气压%惯性约束聚变
磁控濺射%Mo塗層%錶麵粗糙度%工作氣壓%慣性約束聚變
자공천사%Mo도층%표면조조도%공작기압%관성약속취변
magnetron sputtering%Mo coating%surface roughness%work pressure%inertial confinement fusion
利用磁控溅射制备了各种工艺参数不同的微球表面金属Mo涂层样品,并通过白光干涉仪和扫描电子显微镜对样品的表面及剖面进行了系统的测试分析.分别探究了溅射工作气压和沉积制备时间对微球表面Mo涂层表面形貌以及结晶质量的影响规律.结果表明通过优化工艺参数可制备微球直径约为800 μm、涂层厚度为3.5 μm到14.1 μm、厚度均匀性良好的微球表面Mo涂层.Mo涂层中的晶粒呈现出柱状结构致密堆积在一起,且随涂层的厚度增加晶粒间空隙增大.
利用磁控濺射製備瞭各種工藝參數不同的微毬錶麵金屬Mo塗層樣品,併通過白光榦涉儀和掃描電子顯微鏡對樣品的錶麵及剖麵進行瞭繫統的測試分析.分彆探究瞭濺射工作氣壓和沉積製備時間對微毬錶麵Mo塗層錶麵形貌以及結晶質量的影響規律.結果錶明通過優化工藝參數可製備微毬直徑約為800 μm、塗層厚度為3.5 μm到14.1 μm、厚度均勻性良好的微毬錶麵Mo塗層.Mo塗層中的晶粒呈現齣柱狀結構緻密堆積在一起,且隨塗層的厚度增加晶粒間空隙增大.
이용자공천사제비료각충공예삼수불동적미구표면금속Mo도층양품,병통과백광간섭의화소묘전자현미경대양품적표면급부면진행료계통적측시분석.분별탐구료천사공작기압화침적제비시간대미구표면Mo도층표면형모이급결정질량적영향규률.결과표명통과우화공예삼수가제비미구직경약위800 μm、도층후도위3.5 μm도14.1 μm、후도균균성량호적미구표면Mo도층.Mo도층중적정립정현출주상결구치밀퇴적재일기,차수도층적후도증가정립간공극증대.
