强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2014年
12期
129-133
,共5页
王洪祥%李成福%朱本温%王景贺
王洪祥%李成福%硃本溫%王景賀
왕홍상%리성복%주본온%왕경하
熔石英元件%亚表面缺陷%研磨加工%损伤性检测%亚表面裂纹
鎔石英元件%亞錶麵缺陷%研磨加工%損傷性檢測%亞錶麵裂紋
용석영원건%아표면결함%연마가공%손상성검측%아표면렬문
fused silica optics%subsurface defects%lapping%destructive detection%subsurface cracks
在磨削、研磨和抛光加工过程中产生的微裂纹、划痕、残余应力等亚表面缺陷会导致熔石英元件抗激光损伤能力下降,如何快速、准确地检测亚表面损伤成为光学领域亟待解决的关键问题.采用HF酸蚀刻法、角度抛光法和磁流变斜面抛光法对熔石英元件在研磨加工中产生的亚表面缺陷形貌特征及损伤深度进行了检测和对比分析,结果表明,不同检测方法得到的亚表层损伤深度的检测结果存在一定差异,HF酸蚀刻法检测得到的亚表面损伤深度要比角度抛光法和磁流变斜面抛光法检测结果大一些.且采用的磨粒粒径越大,试件表面及亚表面的脆性断裂现象越严重,亚表面缺陷层深度越大.
在磨削、研磨和拋光加工過程中產生的微裂紋、劃痕、殘餘應力等亞錶麵缺陷會導緻鎔石英元件抗激光損傷能力下降,如何快速、準確地檢測亞錶麵損傷成為光學領域亟待解決的關鍵問題.採用HF痠蝕刻法、角度拋光法和磁流變斜麵拋光法對鎔石英元件在研磨加工中產生的亞錶麵缺陷形貌特徵及損傷深度進行瞭檢測和對比分析,結果錶明,不同檢測方法得到的亞錶層損傷深度的檢測結果存在一定差異,HF痠蝕刻法檢測得到的亞錶麵損傷深度要比角度拋光法和磁流變斜麵拋光法檢測結果大一些.且採用的磨粒粒徑越大,試件錶麵及亞錶麵的脆性斷裂現象越嚴重,亞錶麵缺陷層深度越大.
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