强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2014年
12期
124-128
,共5页
刘浩%何智兵%何小珊%贾晓琴%韦建军
劉浩%何智兵%何小珊%賈曉琴%韋建軍
류호%하지병%하소산%가효금%위건군
等离子体聚合%氘代辉光放电聚合物%红外吸收谱%力学性能
等離子體聚閤%氘代輝光放電聚閤物%紅外吸收譜%力學性能
등리자체취합%도대휘광방전취합물%홍외흡수보%역학성능
plasma polymerization%carbon-deuterium film%infrared absorption spectrum%mechanical property
采用射频辉光放电聚合技术,在低压等离子体聚合装置上开展在5～20 W功率下氘代辉光放电聚合物薄膜的制备及性能研究.利用傅里叶变换红外吸收光谱仪表征薄膜的化学结构,讨论了功率变化对其官能团结构的影响规律.利用元素分析仪和纳米压痕仪表征薄膜中氘原子的相对含量和薄膜的力学性能.研究表明:随着功率的升高,薄膜中的氘含量先升高后降低,在10W时达到最大,薄膜中SP3 CD的相对含量增加,SP3 CD2的相对含量减小;聚合物薄膜的硬度和杨氏模量均随功率的增加而减小.
採用射頻輝光放電聚閤技術,在低壓等離子體聚閤裝置上開展在5～20 W功率下氘代輝光放電聚閤物薄膜的製備及性能研究.利用傅裏葉變換紅外吸收光譜儀錶徵薄膜的化學結構,討論瞭功率變化對其官能糰結構的影響規律.利用元素分析儀和納米壓痕儀錶徵薄膜中氘原子的相對含量和薄膜的力學性能.研究錶明:隨著功率的升高,薄膜中的氘含量先升高後降低,在10W時達到最大,薄膜中SP3 CD的相對含量增加,SP3 CD2的相對含量減小;聚閤物薄膜的硬度和楊氏模量均隨功率的增加而減小.
채용사빈휘광방전취합기술,재저압등리자체취합장치상개전재5～20 W공솔하도대휘광방전취합물박막적제비급성능연구.이용부리협변환홍외흡수광보의표정박막적화학결구,토론료공솔변화대기관능단결구적영향규률.이용원소분석의화납미압흔의표정박막중도원자적상대함량화박막적역학성능.연구표명:수착공솔적승고,박막중적도함량선승고후강저,재10W시체도최대,박막중SP3 CD적상대함량증가,SP3 CD2적상대함량감소;취합물박막적경도화양씨모량균수공솔적증가이감소.
