上海计量测试
上海計量測試
상해계량측시
SHANGHAI MEASUREMENT AND TESTING
2014年
6期
8-10
,共3页
溯源%标准物质%纳米
溯源%標準物質%納米
소원%표준물질%납미
traceable%standard materials%nanometrology
介绍目前世界上纳米长度可溯源测量的几种主要方法和使用的典型仪器，包括透射电镜、扫描电镜和扫描探针、粒度测量仪。并介绍了用于校准这些仪器的有证标准物质和标定这些标准物质的一些重要方法。对各类仪器和各类标准物质的使用范围和制作限制进行探讨，并指出现有标准物质的不足和面临的挑战。
介紹目前世界上納米長度可溯源測量的幾種主要方法和使用的典型儀器，包括透射電鏡、掃描電鏡和掃描探針、粒度測量儀。併介紹瞭用于校準這些儀器的有證標準物質和標定這些標準物質的一些重要方法。對各類儀器和各類標準物質的使用範圍和製作限製進行探討，併指齣現有標準物質的不足和麵臨的挑戰。
개소목전세계상납미장도가소원측량적궤충주요방법화사용적전형의기，포괄투사전경、소묘전경화소묘탐침、립도측량의。병개소료용우교준저사의기적유증표준물질화표정저사표준물질적일사중요방법。대각류의기화각류표준물질적사용범위화제작한제진행탐토，병지출현유표준물질적불족화면림적도전。
The main methods and instruments for traceable nanometrology were introduced ,include TEM、SEM、Scanning probe、Particle size analyzer. The important methods for calibrated these instruments were introduced. The range of these instruments and standard materials was discussed. The reality & challenge of traceable nanometrology was discussed.
