压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2014年
6期
880-882,887
,共4页
章安良%王新彪%付相庭%查燕
章安良%王新彪%付相庭%查燕
장안량%왕신표%부상정%사연
微阀%热膨胀%声表面波%微通道%微流器件
微閥%熱膨脹%聲錶麵波%微通道%微流器件
미벌%열팽창%성표면파%미통도%미류기건
micro-valve%thermal expansion%surface acoustic wave%micro-channel%micro-fluidic device
研制了一种新的声表面波控制开关的微阀.在128°YX-LiNbO3基片上光刻叉指换能器,其激发的声表面波加热微槽内石蜡油,熔融其上方微腔内固体石蜡,石蜡由于相变化而体积膨胀,使得微腔顶部的聚二甲基硅氧烷(PDMS)薄膜发生形变,微阀由开态转变为关态.红色染料溶液微流体为实验对象进行微阀操作实验,结果表明,声表面波可有效实现微阀的控制,且微阀开关时间随所加电信号功率增加而减少,在32 dBm电信号功率作用下,微阀关闭时间为3 min.
研製瞭一種新的聲錶麵波控製開關的微閥.在128°YX-LiNbO3基片上光刻扠指換能器,其激髮的聲錶麵波加熱微槽內石蠟油,鎔融其上方微腔內固體石蠟,石蠟由于相變化而體積膨脹,使得微腔頂部的聚二甲基硅氧烷(PDMS)薄膜髮生形變,微閥由開態轉變為關態.紅色染料溶液微流體為實驗對象進行微閥操作實驗,結果錶明,聲錶麵波可有效實現微閥的控製,且微閥開關時間隨所加電信號功率增加而減少,在32 dBm電信號功率作用下,微閥關閉時間為3 min.
연제료일충신적성표면파공제개관적미벌.재128°YX-LiNbO3기편상광각차지환능기,기격발적성표면파가열미조내석사유,용융기상방미강내고체석사,석사유우상변화이체적팽창,사득미강정부적취이갑기규양완(PDMS)박막발생형변,미벌유개태전변위관태.홍색염료용액미류체위실험대상진행미벌조작실험,결과표명,성표면파가유효실현미벌적공제,차미벌개관시간수소가전신호공솔증가이감소,재32 dBm전신호공솔작용하,미벌관폐시간위3 min.
