电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2014年
11期
33-35
,共3页
非接触%光的干涉%间隙检测
非接觸%光的榦涉%間隙檢測
비접촉%광적간섭%간극검측
N on-contact%O pticalinterference%G ap detection
基于光的分振幅干涉原理，用激光做光源，自行设计了用于接触或接近式曝光工艺中掩模板与基片间的间隙均匀性检测装置，通过实际运用，达到理想效果。
基于光的分振幅榦涉原理，用激光做光源，自行設計瞭用于接觸或接近式曝光工藝中掩模闆與基片間的間隙均勻性檢測裝置，通過實際運用，達到理想效果。
기우광적분진폭간섭원리，용격광주광원，자행설계료용우접촉혹접근식폭광공예중엄모판여기편간적간극균균성검측장치，통과실제운용，체도이상효과。
B ased on optical divided am plitude interference principle,w e designed a detection device used to detect uniform ity of the gap betw een the m ask and the silicon w afer. Through practical application,the device achieves the idealeffect.
