长春工业大学学报（自然科学版）
長春工業大學學報（自然科學版）
장춘공업대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF CHANGCHUN UNIVERSITY OF TECHNOLOGY（NATURAL SCIENCE EDITION）
2014年
6期
639-644
,共6页
全息光栅%波前质量%模态分析%稳定性
全息光柵%波前質量%模態分析%穩定性
전식광책%파전질량%모태분석%은정성
holographic grating%quality of wave-front%mode analysis%stability
采用双透镜组的结构引入补偿镜，使工作波长和装调波长共像面。采用有限元分析方法对机械系统的设计结果进行模态分析，结果表明，该曝光系统具有较高的波前质量和系统稳定性。
採用雙透鏡組的結構引入補償鏡，使工作波長和裝調波長共像麵。採用有限元分析方法對機械繫統的設計結果進行模態分析，結果錶明，該曝光繫統具有較高的波前質量和繫統穩定性。
채용쌍투경조적결구인입보상경，사공작파장화장조파장공상면。채용유한원분석방법대궤계계통적설계결과진행모태분석，결과표명，해폭광계통구유교고적파전질량화계통은정성。
Pair lens are applied in the optical system and the compensate lens are introduced to make the operation wavelength match the assemble wavelength .With finite element analysis ,we design the mechanical structure and analyze the modes . The results show that holographic grating exposure system is with high quality wave‐front and stability .
