长春工业大学学报（自然科学版）
長春工業大學學報（自然科學版）
장춘공업대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF CHANGCHUN UNIVERSITY OF TECHNOLOGY（NATURAL SCIENCE EDITION）
2014年
6期
633-638
,共6页
光电式光栅刻划机%衍射光栅干涉仪%莫尔条纹
光電式光柵刻劃機%衍射光柵榦涉儀%莫爾條紋
광전식광책각화궤%연사광책간섭의%막이조문
photoelectric grating ruling engine%diffraction grating interferometer%moire
采用莫尔条纹法对光栅干涉仪在工作过程中产生的干涉条纹进行分析，利用莫尔条纹的平均误差作用减少光栅刻划过程中的局部误差。实验研究表明，该方法控制光栅刻划机刻划出300 l／m m和600 l／m m的光栅，受环境影响小、结构简单且装调方便。
採用莫爾條紋法對光柵榦涉儀在工作過程中產生的榦涉條紋進行分析，利用莫爾條紋的平均誤差作用減少光柵刻劃過程中的跼部誤差。實驗研究錶明，該方法控製光柵刻劃機刻劃齣300 l／m m和600 l／m m的光柵，受環境影響小、結構簡單且裝調方便。
채용막이조문법대광책간섭의재공작과정중산생적간섭조문진행분석，이용막이조문적평균오차작용감소광책각화과정중적국부오차。실험연구표명，해방법공제광책각화궤각화출300 l／m m화600 l／m m적광책，수배경영향소、결구간단차장조방편。
With Moire fringe average error method ,interference fringes produced in the operation of grating interferometer are analyzed to reduce the local error . Experimental studies show that 300 l/mm and 600 l/mm gratings are ruled out with the method ,and the grating ruling engine control system using moire fringe method have low environmental impact ,simple structure and is simple , easily adjusted and influenced less by the environment .
