现代交际
現代交際
현대교제
MODERN COMMUNICATION
2014年
12期
96-96
,共1页
郭明%侯丽新%邢淑芝%韩颖
郭明%侯麗新%邢淑芝%韓穎
곽명%후려신%형숙지%한영
紫外%光电探测器%金属-半导体-金属
紫外%光電探測器%金屬-半導體-金屬
자외%광전탐측기%금속-반도체-금속
金属-半导体-金属(MSM)结构探测器结构简单，可避免材料因高掺杂所带来的困难，简化了加工、制备的过程。MSM型紫外探测器优点多：高增益、暗电流低、响应速率快、大带宽以及高灵敏度。但MSM型探测器工作在偏压状态下，工作偏压决定了探测器耗尽区的范围，因此，探测器的特性参数与工作偏压有关。本文主要从理论分析研究硅基MSM光电探测器结构原理及工艺特点。
金屬-半導體-金屬(MSM)結構探測器結構簡單，可避免材料因高摻雜所帶來的睏難，簡化瞭加工、製備的過程。MSM型紫外探測器優點多：高增益、暗電流低、響應速率快、大帶寬以及高靈敏度。但MSM型探測器工作在偏壓狀態下，工作偏壓決定瞭探測器耗儘區的範圍，因此，探測器的特性參數與工作偏壓有關。本文主要從理論分析研究硅基MSM光電探測器結構原理及工藝特點。
금속-반도체-금속(MSM)결구탐측기결구간단，가피면재료인고참잡소대래적곤난，간화료가공、제비적과정。MSM형자외탐측기우점다：고증익、암전류저、향응속솔쾌、대대관이급고령민도。단MSM형탐측기공작재편압상태하，공작편압결정료탐측기모진구적범위，인차，탐측기적특성삼수여공작편압유관。본문주요종이론분석연구규기MSM광전탐측기결구원리급공예특점。
