CAJ | 학술논문

采用直流磁控溅射工艺，在不同溅射压强条件下制备了薄膜太阳电池用金属Mo背电极。用场发射场发射扫描电子显微镜(FESEM)和四探针测试仪研究了溅射压强对薄膜的成膜速率和电学性能的影响。结果表明，较高溅射压强条件下，制得的薄膜电阻率较高，薄膜与衬底附着性能较好。随溅射压强减小，制备的薄膜电阻率降低，与衬底附着性较差。溅射过程中，改变溅射压强制备的双层Mo薄膜，能同时达到具有良好附着性和较低电阻率的要求，更适合做薄膜太阳电池背电极。
채용직류자공천사공예，재불동천사압강조건하제비료박막태양전지용금속Mo배전겁。용장발사장발사소묘전자현미경(FESEM)화사탐침측시의연구료천사압강대박막적성막속솔화전학성능적영향。결과표명，교고천사압강조건하，제득적박막전조솔교고，박막여츤저부착성능교호。수천사압강감소，제비적박막전조솔강저，여츤저부착성교차。천사과정중，개변천사압강제비적쌍층Mo박막，능동시체도구유량호부착성화교저전조솔적요구，경괄합주박막태양전지배전겁。