西华大学学报（自然科学版）
西華大學學報（自然科學版）
서화대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF XIHUA UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2014年
6期
66-68
,共3页
廖凤娟%赵广彬%谭刚%罗磊%张丽珍%何迪%李欣健
廖鳳娟%趙廣彬%譚剛%囉磊%張麗珍%何迪%李訢健
료봉연%조엄빈%담강%라뢰%장려진%하적%리흔건
TiAlN膜%非平衡磁控溅射%Al靶电流
TiAlN膜%非平衡磁控濺射%Al靶電流
TiAlN막%비평형자공천사%Al파전류
TiAlN film%unbalanced magnetron sputtering%Al target current
采用非平衡磁控溅射离子镀技术在YG6硬质合金表面沉积TiAlN薄膜,研究Al靶的溅射电流对TixAl1-xN薄膜组织结构与性能的影响.利用X线衍射仪、扫描电子显微镜和显微硬度仪等分析仪器对制备的TixAl1-xN薄膜的相结构、表面形貌和显微硬度进行测试分析.测试结果表明:膜层中存在Ti3 AlN、AlN相,且Ti3AlN沿(220)晶面择优取向.SEM测试表明,随Al靶功率的提高,膜层晶粒结构变得更致密.显微硬度仪测得薄膜平均硬度最高可达2 980 HV.
採用非平衡磁控濺射離子鍍技術在YG6硬質閤金錶麵沉積TiAlN薄膜,研究Al靶的濺射電流對TixAl1-xN薄膜組織結構與性能的影響.利用X線衍射儀、掃描電子顯微鏡和顯微硬度儀等分析儀器對製備的TixAl1-xN薄膜的相結構、錶麵形貌和顯微硬度進行測試分析.測試結果錶明:膜層中存在Ti3 AlN、AlN相,且Ti3AlN沿(220)晶麵擇優取嚮.SEM測試錶明,隨Al靶功率的提高,膜層晶粒結構變得更緻密.顯微硬度儀測得薄膜平均硬度最高可達2 980 HV.
채용비평형자공천사리자도기술재YG6경질합금표면침적TiAlN박막,연구Al파적천사전류대TixAl1-xN박막조직결구여성능적영향.이용X선연사의、소묘전자현미경화현미경도의등분석의기대제비적TixAl1-xN박막적상결구、표면형모화현미경도진행측시분석.측시결과표명:막층중존재Ti3 AlN、AlN상,차Ti3AlN연(220)정면택우취향.SEM측시표명,수Al파공솔적제고,막층정립결구변득경치밀.현미경도의측득박막평균경도최고가체2 980 HV.
