太阳能
太暘能
태양능
SOLAR ENERGY
2014年
11期
12-13
,共2页
空心阴极气流溅射法%ZnO膜%Al掺杂%电学性质%光学性质
空心陰極氣流濺射法%ZnO膜%Al摻雜%電學性質%光學性質
공심음겁기류천사법%ZnO막%Al참잡%전학성질%광학성질
对Al掺杂的ZnO膜(AZO),一般是通过空心阴极气流溅射法,采用Zn-Al合金靶,将它沉积在玻璃上.溅射功率通常固定在1500W,室温下,O2流量为38～50 sccm,可沉积出电阻率0.81×10-3～1.1×10-3Ω·cm的AZO膜,沉积速率几乎恒定在270 ～ 300 nm/min.此外,在200℃、O2流量为25 ～ 50 sccm下,也能得到5.2×10-4 ～ 6.4×10-4Ω·cm的低电阻率AZO膜,且能达到200 ～ 220 nm/min恒定沉积速率.两种膜在可见光范围内的透明度均在80％以上.
對Al摻雜的ZnO膜(AZO),一般是通過空心陰極氣流濺射法,採用Zn-Al閤金靶,將它沉積在玻璃上.濺射功率通常固定在1500W,室溫下,O2流量為38～50 sccm,可沉積齣電阻率0.81×10-3～1.1×10-3Ω·cm的AZO膜,沉積速率幾乎恆定在270 ～ 300 nm/min.此外,在200℃、O2流量為25 ～ 50 sccm下,也能得到5.2×10-4 ～ 6.4×10-4Ω·cm的低電阻率AZO膜,且能達到200 ～ 220 nm/min恆定沉積速率.兩種膜在可見光範圍內的透明度均在80％以上.
대Al참잡적ZnO막(AZO),일반시통과공심음겁기류천사법,채용Zn-Al합금파,장타침적재파리상.천사공솔통상고정재1500W,실온하,O2류량위38～50 sccm,가침적출전조솔0.81×10-3～1.1×10-3Ω·cm적AZO막,침적속솔궤호항정재270 ～ 300 nm/min.차외,재200℃、O2류량위25 ～ 50 sccm하,야능득도5.2×10-4 ～ 6.4×10-4Ω·cm적저전조솔AZO막,차능체도200 ～ 220 nm/min항정침적속솔.량충막재가견광범위내적투명도균재80％이상.
