工具技术
工具技術
공구기술
TOOL ENGINEERING
2014年
12期
21-25
,共5页
单晶硅%金刚石锯片%高速锯切%崩边
單晶硅%金剛石鋸片%高速鋸切%崩邊
단정규%금강석거편%고속거절%붕변
monocrystalline silicon%diamond saw blade%high-speed cutting%chipping
探讨在单晶硅的高速精密锯切中,锯切用量与锯切崩边幅度大小之间的关系.通过使用金刚石薄锯片对单晶硅进行高速锯切,测量和分析不同参数下的锯切力,并结合锯切力比来分析金刚石锯片对单晶硅的锯切中力与崩边相互联系的特征.结果表明:在高速锯切单晶硅过程中,锯切深度、进给速度增大都能引起锯切力与力比的增大,也造成了单晶硅崩边情况更加严重.但是转速的提高则可以使锯切力大幅降低,并有效抑制加工过程中沟槽侧面的崩边问题.锯切深度与进给速度的增加引起锯切力增大时使单晶硅材料更加倾向于脆性断裂而被去除,但是提高转速降低锯切力后可使单晶硅渐转化为塑性去除,有效提高了加工产品质量.
探討在單晶硅的高速精密鋸切中,鋸切用量與鋸切崩邊幅度大小之間的關繫.通過使用金剛石薄鋸片對單晶硅進行高速鋸切,測量和分析不同參數下的鋸切力,併結閤鋸切力比來分析金剛石鋸片對單晶硅的鋸切中力與崩邊相互聯繫的特徵.結果錶明:在高速鋸切單晶硅過程中,鋸切深度、進給速度增大都能引起鋸切力與力比的增大,也造成瞭單晶硅崩邊情況更加嚴重.但是轉速的提高則可以使鋸切力大幅降低,併有效抑製加工過程中溝槽側麵的崩邊問題.鋸切深度與進給速度的增加引起鋸切力增大時使單晶硅材料更加傾嚮于脆性斷裂而被去除,但是提高轉速降低鋸切力後可使單晶硅漸轉化為塑性去除,有效提高瞭加工產品質量.
탐토재단정규적고속정밀거절중,거절용량여거절붕변폭도대소지간적관계.통과사용금강석박거편대단정규진행고속거절,측량화분석불동삼수하적거절력,병결합거절력비래분석금강석거편대단정규적거절중력여붕변상호련계적특정.결과표명:재고속거절단정규과정중,거절심도、진급속도증대도능인기거절력여력비적증대,야조성료단정규붕변정황경가엄중.단시전속적제고칙가이사거절력대폭강저,병유효억제가공과정중구조측면적붕변문제.거절심도여진급속도적증가인기거절력증대시사단정규재료경가경향우취성단렬이피거제,단시제고전속강저거절력후가사단정규점전화위소성거제,유효제고료가공산품질량.
