科技风
科技風
과기풍
TECHNOLOGY WIND
2014年
24期
46-46
,共1页
碳膜%TCR%温度系数
碳膜%TCR%溫度繫數
탄막%TCR%온도계수
随着微电子技术的飞跃发展，对薄膜集成电路，半导体集成电路的功能、集成度、精度、可靠性和使用寿命等，都提出了越来越高的要求。薄膜混合集成电路中的薄膜电阻无源器件，具有参数精度高、温度系数小、噪声系数低、高频特性好、可靠性高等特点，得到了广泛应用。本文主要论述了薄膜电阻的制作工艺对温度系数的研究。
隨著微電子技術的飛躍髮展，對薄膜集成電路，半導體集成電路的功能、集成度、精度、可靠性和使用壽命等，都提齣瞭越來越高的要求。薄膜混閤集成電路中的薄膜電阻無源器件，具有參數精度高、溫度繫數小、譟聲繫數低、高頻特性好、可靠性高等特點，得到瞭廣汎應用。本文主要論述瞭薄膜電阻的製作工藝對溫度繫數的研究。
수착미전자기술적비약발전，대박막집성전로，반도체집성전로적공능、집성도、정도、가고성화사용수명등，도제출료월래월고적요구。박막혼합집성전로중적박막전조무원기건，구유삼수정도고、온도계수소、조성계수저、고빈특성호、가고성고등특점，득도료엄범응용。본문주요논술료박막전조적제작공예대온도계수적연구。
