材料导报
材料導報
재료도보
MATERIALS REVIEW
2014年
24期
5-8
,共4页
苏杰%黄美玲%钟根香%黄新明
囌傑%黃美玲%鐘根香%黃新明
소걸%황미령%종근향%황신명
多晶硅%锗%位错%氧%机械强度
多晶硅%鍺%位錯%氧%機械彊度
다정규%타%위착%양%궤계강도
multi-crystalline silicon%germanium%dislocation%oxygen%mechanical strength
研究不同的掺锗浓度对硼掺杂P型多晶硅铸锭性能的影响.实验结果表明:掺锗能够影响多晶硅铸锭中的位错密度、间隙氧浓度和硅片的机械强度.当掺锗浓度低于5×1019 at·cm-3时,位错密度和间隙氧浓度随着掺锗浓度的增加而降低,机械强度则随着掺锗浓度的增加而增强.当铸锭中掺锗浓度为5×1019 at·cm-3时,与不掺锗的硅片相比,掺锗硅片中位错密度平均降低约3％,间隙氧浓度平均降低约6％,机械强度平均提高约20％.但是,当掺锗浓度高于1×1020 at·cm-3时,掺锗对多晶硅铸锭性能的改善效果变差了,并对其性能产生不利的影响.
研究不同的摻鍺濃度對硼摻雜P型多晶硅鑄錠性能的影響.實驗結果錶明:摻鍺能夠影響多晶硅鑄錠中的位錯密度、間隙氧濃度和硅片的機械彊度.噹摻鍺濃度低于5×1019 at·cm-3時,位錯密度和間隙氧濃度隨著摻鍺濃度的增加而降低,機械彊度則隨著摻鍺濃度的增加而增彊.噹鑄錠中摻鍺濃度為5×1019 at·cm-3時,與不摻鍺的硅片相比,摻鍺硅片中位錯密度平均降低約3％,間隙氧濃度平均降低約6％,機械彊度平均提高約20％.但是,噹摻鍺濃度高于1×1020 at·cm-3時,摻鍺對多晶硅鑄錠性能的改善效果變差瞭,併對其性能產生不利的影響.
연구불동적참타농도대붕참잡P형다정규주정성능적영향.실험결과표명:참타능구영향다정규주정중적위착밀도、간극양농도화규편적궤계강도.당참타농도저우5×1019 at·cm-3시,위착밀도화간극양농도수착참타농도적증가이강저,궤계강도칙수착참타농도적증가이증강.당주정중참타농도위5×1019 at·cm-3시,여불참타적규편상비,참타규편중위착밀도평균강저약3％,간극양농도평균강저약6％,궤계강도평균제고약20％.단시,당참타농도고우1×1020 at·cm-3시,참타대다정규주정성능적개선효과변차료,병대기성능산생불리적영향.
