计量技术
計量技術
계량기술
MEASUREMENT TECHNIQUE
2015年
1期
39-41
,共3页
王东%张露%王玉%李景尧
王東%張露%王玉%李景堯
왕동%장로%왕옥%리경요
接触式干涉仪%干涉条纹%定度误差%滤光片波长%物镜畸变
接觸式榦涉儀%榦涉條紋%定度誤差%濾光片波長%物鏡畸變
접촉식간섭의%간섭조문%정도오차%려광편파장%물경기변
本文从接触式干涉仪测微原理出发，运用几何光学的基本原理，导出接触式干涉仪分度值表达式，并对定分度值所产生的误差进行了分析，同时对减少定度误差提出了具体的调整方案。
本文從接觸式榦涉儀測微原理齣髮，運用幾何光學的基本原理，導齣接觸式榦涉儀分度值錶達式，併對定分度值所產生的誤差進行瞭分析，同時對減少定度誤差提齣瞭具體的調整方案。
본문종접촉식간섭의측미원리출발，운용궤하광학적기본원리，도출접촉식간섭의분도치표체식，병대정분도치소산생적오차진행료분석，동시대감소정도오차제출료구체적조정방안。
