CAJ | 학술논문

液相沉积法是利用原子、分子在液相状态下通过物理、化学的变化制备纳米金属氧化物的一种全新制备方式，主要过程有溶液的混合、沉淀过滤、干燥、焙烧等，操作过程相对简单，对设备、设施要求相对较低，对反应条件要求相对不严格，其形成的薄膜在晶体尺寸均匀度和分散度方面都有着巨大的优势，因此在集成电导体、半导体、气体传感器、光敏材料等纳米材料领域得到了广泛的应用。
액상침적법시이용원자、분자재액상상태하통과물리、화학적변화제비납미금속양화물적일충전신제비방식，주요과정유용액적혼합、침정과려、간조、배소등，조작과정상대간단，대설비、설시요구상대교저，대반응조건요구상대불엄격，기형성적박막재정체척촌균균도화분산도방면도유착거대적우세，인차재집성전도체、반도체、기체전감기、광민재료등납미재료영역득도료엄범적응용。