光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2014年
12期
3167-3174
,共8页
崔长彩%余卿%张遨%李瑞旭%黄辉%王爽
崔長綵%餘卿%張遨%李瑞旭%黃輝%王爽
최장채%여경%장오%리서욱%황휘%왕상
金刚石砂轮%表面形貌测量%白光干涉仪%曲面拼接
金剛石砂輪%錶麵形貌測量%白光榦涉儀%麯麵拼接
금강석사륜%표면형모측량%백광간섭의%곡면병접
diamond grinding wheel%surface topography%white light interferometer%surface stitching
为了实现对金刚石砂轮表面形貌的非接触精密测量,开发了基于干涉原理的金刚石砂轮表面形貌专用测量系统,研究了该系统的测量原理和关键技术.根据垂直扫描白光干涉显微测量原理以及被测对象的特征,提出了适用于砂轮测量的方法,研究了系统的自动扫描范围、垂直方向的扫描方法、单次测量三维表面的恢复算法和磨粒的识别算法.结合自行设计的夹具搭建了砂轮测量系统,并对多次测量拼接算法进行了实验分析.实验结果表明:基于区域重合大小(重合度为30％～50％)的拼接算法获得的拼接前后重合区域的相关系数均大于0.8,拼接后重合区域的高度差均小于0.4 μm.得到的结果显示所搭建的系统可以恢复砂轮的形貌,其测量范围和精度满足砂轮磨粒评定和分析的要求.
為瞭實現對金剛石砂輪錶麵形貌的非接觸精密測量,開髮瞭基于榦涉原理的金剛石砂輪錶麵形貌專用測量繫統,研究瞭該繫統的測量原理和關鍵技術.根據垂直掃描白光榦涉顯微測量原理以及被測對象的特徵,提齣瞭適用于砂輪測量的方法,研究瞭繫統的自動掃描範圍、垂直方嚮的掃描方法、單次測量三維錶麵的恢複算法和磨粒的識彆算法.結閤自行設計的夾具搭建瞭砂輪測量繫統,併對多次測量拼接算法進行瞭實驗分析.實驗結果錶明:基于區域重閤大小(重閤度為30％～50％)的拼接算法穫得的拼接前後重閤區域的相關繫數均大于0.8,拼接後重閤區域的高度差均小于0.4 μm.得到的結果顯示所搭建的繫統可以恢複砂輪的形貌,其測量範圍和精度滿足砂輪磨粒評定和分析的要求.
위료실현대금강석사륜표면형모적비접촉정밀측량,개발료기우간섭원리적금강석사륜표면형모전용측량계통,연구료해계통적측량원리화관건기술.근거수직소묘백광간섭현미측량원리이급피측대상적특정,제출료괄용우사륜측량적방법,연구료계통적자동소묘범위、수직방향적소묘방법、단차측량삼유표면적회복산법화마립적식별산법.결합자행설계적협구탑건료사륜측량계통,병대다차측량병접산법진행료실험분석.실험결과표명:기우구역중합대소(중합도위30％～50％)적병접산법획득적병접전후중합구역적상관계수균대우0.8,병접후중합구역적고도차균소우0.4 μm.득도적결과현시소탑건적계통가이회복사륜적형모,기측량범위화정도만족사륜마립평정화분석적요구.
